普通的電機由于散發微小粒子和分子沉淀會污染真空罐,在真空環境中會帶來污染真空罐或其他精密儀器的風險。
普通的電機可以偶爾能工作在低真空環境中,但是在高真空和超高真空環境中是絕對無法使用的。
真空電機的外殼一般都采用不銹鋼材料,確保定位準確,運動過程中不產生任何氣體,這樣結構的電機也可以工作在一些極端環境中。在真空中使用真空電機最大的好處是減少真空泄露的風險。過程的穩定性和可靠性是最重要的,特別是在工業生產過程中。
真空中存在輻射和散熱困難等原因,普通電機耐溫通常是在130度以下,超過這個溫度,電機將產生扭矩降低、線材軟化、永磁材料退磁甚至造成永久損害。而真空電機機身耐溫可達300℃(短時),長時工作可承受200~280℃的機身溫度。另外一個原因是,普通電氣在出氣率方面沒有做特殊處理,真空電機經過真空高溫脫氣處理、真空浸漆等處理,更符合真空中的應用。
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